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Chemistry of the Semiconductor Industry

Auflage 1989. Book. Sprache: Englisch.
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This book covers the chemistry of the major processes involved in the manufacture of integrated circuits. The authors describe all the major processes in use, together with some processes which are currently being developed and hold future promise.
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Produktdetails

Titel: Chemistry of the Semiconductor Industry
Autor/en: A. Ledwith, S. J. Moss

ISBN: 0216920051
EAN: 9780216920057
Auflage 1989.
Book.
Sprache: Englisch.
Springer Netherlands

28. Februar 1989 - gebunden - 444 Seiten

Beschreibung

This book covers the chemistry of the major processes involved in the manufacture of integrated circuits. The authors describe all the major processes in use, together with some processes which are currently being developed and hold future promise.

Inhaltsverzeichnis

Overview. Semiconductor silicon. Group III-V compounds. Group II-VI semiconductors. Chemical vapour deposition. Plasma-enhanced chemical vapour deposition. Metal-organic vapour phase epitaxy. Liquid-phase epitaxy of III-V compounds. Photoresists. X-ray and E-beam resists. Wet etching. Polyimides. Molecular electronics. Computer modelling. Plasma etching. Polymers in plasmas.

Pressestimmen

'The style and excellent choice of topics and material covered makes this book an ideal starting point for postgraduates and researchers concerned with semiconductor integrated circuit manufacture.' Chemistry in Britain
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