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Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry

New. Sprache: Englisch.
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Eine Sammlung der wichtigsten und nützlichsten Daten von Chemikalien und technischen Gasen, die in der Halbleiterindustrie benötigt werden! Physikalische Kenngrößen und Sicherheitsinformationen von über 270 Substanzen wurden … weiterlesen
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Produktdetails

Titel: Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry
Autor/en: Ashutosh Misra, Jeremiah D. Hogan, Russell A. Chorush

ISBN: 0471316717
EAN: 9780471316718
New.
Sprache: Englisch.
JOHN WILEY & SONS INC

März 2002 - gebunden - 363 Seiten

Beschreibung

Eine Sammlung der wichtigsten und nützlichsten Daten von Chemikalien und technischen Gasen, die in der Halbleiterindustrie benötigt werden! Physikalische Kenngrößen und Sicherheitsinformationen von über 270 Substanzen wurden hier in alphabetischer Reihenfolge zusammengetragen. Unter anderem finden Sie Hinweise zu chemischen Prozessen und Anwendungen, zur sicheren Handhabung der Chemikalien, zum Verhalten bei Unfällen, zur Abfallentsorgung, zu Reinheitsanforderungen und auch zu Lieferanten. Jeder Eintrag wird durch Literaturhinweise ergänzt. Mit ausführlichen Querverweisen!

Inhaltsverzeichnis

Thin Film Deposition Materials.
Wafer Cleaning Chemicals.
Photolithography Materials.
Wet and Dry Etching Materials.
Chemical Mechanical Planarizing Materials.
Carrier Gases.
Uncategorized Materials.
Semiconductor Chemicals Analysis.
Index.

Portrait

Russell A. Chorush is an associate at the law firm of Conley, Rose and Tayon, PC.
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