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Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry

New. Sprache: Englisch.
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Eine Sammlung der wichtigsten und nützlichsten Daten von Chemikalien und technischen Gasen, die in der Halbleiterindustrie benötigt werden! Physikalische Kenngrößen und Sicherheitsinformationen von über 270 Substanzen wurden hier in alphabetischer Re … weiterlesen
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Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry als Buch

Produktdetails

Titel: Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry
Autor/en: Ashutosh Misra, Jeremiah D. Hogan, Russell A. Chorush

ISBN: 0471316717
EAN: 9780471316718
New.
Sprache: Englisch.
JOHN WILEY & SONS INC

März 2002 - gebunden - 363 Seiten

Beschreibung

The first comprehensive guide to the chemicals and gases used in semiconductor manufacturing

The fabrication of semiconductor devices involves a series of complex chemical processes such as photolithography, etching, cleaning, thin film deposition, and polishing. Until now, there has been no convenient source of information on the properties, applications, and health and safety considerations of the chemicals used in these processes. The Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry meets this need.

Each of the Handbook's eight chapters is related to a specific area of semiconductor processing. The authors provide a brief overview of each step in the process, followed by tables containing physical properties, handling, safety, and other pertinent information on chemicals and gases typically used in these processes. The 270 chemical and gas entries include data on physical properties, emergency treatment procedures, waste disposal, and incompatible materials, as well as descriptions of applications, chemical mechanisms involved, and references to the literature. Appendices cross-reference entries by process, chemical name, and CAS number. The Handbook's eight chapters are:
* Thin Film Deposition Materials
* Wafer Cleaning Materials
* Photolithography Materials
* Wet and Dry Etching Materials
* Chemical Mechanical Planarizing Methods
* Carrier Gases
* Uncategorized Materials
* Semiconductor Chemicals Analysis
No other single source brings together these useful and important data on chemicals and gases used in the manufacture of semiconductor devices. The Handbook of Chemicals and Gases for the Semiconductor Industry will be a valuable reference for process engineers, scientists, suppliers to the semiconductor industry, microelectronics researchers, and students.

Inhaltsverzeichnis

Thin Film Deposition Materials.

Wafer Cleaning Chemicals.

Photolithography Materials.

Wet and Dry Etching Materials.

Chemical Mechanical Planarizing Materials.

Carrier Gases.

Uncategorized Materials.

Semiconductor Chemicals Analysis.

Index.

Portrait

Russell A. Chorush is an associate at the law firm of Conley, Rose and Tayon, PC.
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