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Capture Pumping Technology, 2nd Fully Revised Edition

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Produktdetails

Titel: Capture Pumping Technology, 2nd Fully Revised Edition

ISBN: 0444509410
EAN: 9780444509413
Fully Rev.
Sprache: Englisch.
Herausgegeben von K. Welch
ELSEVIER LTD

Oktober 2001 - kartoniert - 376 Seiten

Beschreibung

Suitable for vacuum engineers, scientists and technicians, this practical textbook introduces the reader to the fundamentals of the subject material of pumping technology. It features equations and rules of thumb to memorize, which are drawn on in designing, operating and trouble-shooting different vacuum systems.

Inhaltsverzeichnis

Preface. Biographical Note. Acknowledgements. 1. Basic Theory. 2. Sputter-Ion Pumping. 3. Titanium Sublimation Pumping. 4. Nonevaporable Getters (NEG). 5. Cryopumping. Problem Set. References. Subject Index. Author Index.
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