Hugendubel.de - Das Lesen ist schön

Warenkorb

€ 0,00 0 Buch dabei,
portofrei
Bücher immer versandkostenfrei
Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials als Buch
PORTO-
FREI

Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials

'Springer Series in Materials Science'. Auflage 2004. 298 Abbildungen.
Buch (gebunden)
This book contains a comprehensive review of CMP (Chemical-Mechanical Planarization) technology, one of the most exciting areas in the field of semiconductor technology. It contains detailed discussions of all aspects of the technology, for both diel... weiterlesen
Buch

219,99*

inkl. MwSt.
Portofrei
Sofort lieferbar
Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials als Buch
Produktdetails
Titel: Chemical-Mechanical Planarization of Semiconductor Materials

ISBN: 3540431810
EAN: 9783540431817
'Springer Series in Materials Science'.
Auflage 2004.
298 Abbildungen.
Herausgegeben von M. R. Oliver
Springer-Verlag GmbH

Januar 2004 - gebunden - XI

Beschreibung

This book contains a comprehensive review of CMP (Chemical-Mechanical Planarization) technology, one of the most exciting areas in the field of semiconductor technology. It contains detailed discussions of all aspects of the technology, for both dielectrics and metals. The state of polishing models and their relation to experimental results are covered. Polishing tools and consumables are also covered. The leading edge issues of damascene and new dielectrics as well as slurryless technology are discussed.

Inhaltsverzeichnis

1 Introduction.
2 CMP Technology.
3 Metal Polishing Processes.
4 Metal CMP Science.
5 Equipment Used in CMP Processes.
6 CMP Polishing Pads.
7 Fundamentals of CMP Slurry.
8 CMP Cleaning.
9 Patterned Wafer Effects.
10 Integration Issues of CMP.
Appendix: Pourbaix Diagrams.
References.

Mehr aus dieser Reihe

zurück
Organic Photovoltaics
Buch (gebunden)
Technology and Applications of Amorphous Silicon
Buch (gebunden)
von Robert A. Street
Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication
Buch (gebunden)
von Klaus Graff
vor

Entdecken Sie mehr

Servicehotline
089 - 70 80 99 47

Mo. - Fr. 8.00 - 20.00 Uhr
Sa. 10.00 - 20.00 Uhr
Filialhotline
089 - 30 75 75 75

Mo. - Sa. 9.00 - 20.00 Uhr
Bleiben Sie in Kontakt:
Sicher & bequem bezahlen:
akzeptierte Zahlungsarten: Überweisung, offene Rechnung,
Visa, Master Card, American Express, Paypal
Zustellung durch:
* Alle Preise verstehen sich inkl. der gesetzlichen MwSt. Informationen über den Versand und anfallende Versandkosten finden Sie hier.
** im Vergleich zum dargestellten Vergleichspreis.