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Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices

Advanced Micro and Nanosystems. 'Advanced Micro and Nanosystems'. 1. Auflage. 245 schwarz-weiße Abbildungen,…
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Mikro- und Nanotechnik haben Wissenschaft und Forschung revolutioniert. In Zukunft werden sie auch den Alltag verändern. Nun liegt der erste Band einer neuen Buchreihe vor: Advanced Micro and Nano Systems 1. Henry Baltes und seine Co-Autoren knüpfen … weiterlesen
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Produktdetails

Titel: Enabling Technologies for MEMS and Nanodevices

ISBN: 352730746X
EAN: 9783527307463
Advanced Micro and Nanosystems.
'Advanced Micro and Nanosystems'.
1. Auflage.
245 schwarz-weiße Abbildungen, 15 schwarz-weiße Tabellen.
Sprache: Englisch.
Herausgegeben von Henry Baltes, Oliver Brand, Gary K. Fedder
Wiley VCH Verlag GmbH

24. Juni 2004 - gebunden - XII

Beschreibung

Mikro- und Nanotechnik haben Wissenschaft und Forschung revolutioniert. In Zukunft werden sie auch den Alltag verändern. Nun liegt der erste Band einer neuen Buchreihe vor: Advanced Micro and Nano Systems 1. Henry Baltes und seine Co-Autoren knüpfen mit AMN an die Sensors Update-Reihe an. Das Autorenteam wurde um weitere Experten erweitert. AMN wird zwei Mal pro Jahr mit einem neuen Band die aktuellen Entwicklungen in der Mikro- und Nano-Welt begleiten. Die Erforschung und der Einsatz von Mikro- und Nanosystemen sind eines der brandaktuellen Themen im Wissenschaftsbereich. Die Forschungsergebnisse werden mehr und mehr auch konkret umgesetzt. Damit werden Mikro- und Nanotechnologie zu Wirtschaftsfaktoren. Aktuelle Entwicklungen, neue Technologien, Nano-Bauelemente und Systeme im Mikromaßstab - Advanced Micro and Nano Systems, die neue Buchreihe, wird Spiegel der spannenden und faszinierenden Mikro- und Nano-Welt sein. Zweimal pro Jahr wird es einen neuen AMN-Band geben. Die Autoren sind ausgewiesene Spezialisten. Zu den Herausgebern zählt Henry Baltes, Professor an der ETH Zürich. Er zeichnete bereits für die Bände der Sensors Update-Reihe verantwortlich. Die Artikel ermöglichen Neueinsteigern einen ersten Zugriff auf die Materie. Fachleute erhalten einen umfassenden Überblick. Anspruch der Herausgeber ist es, nicht nur die theoretischen Grundlagen von Mikro- und Nanosystemen zu reflektieren, sondern immer auch praktische Möglichkeiten und die Grenzen der Anwendung im Blick zu haben. Die AMN-Bände sind Handbücher und Nachschlagewerke in einem. Die Reihe richtet sich an Vertreter unterschiedlicher Fachrichtungen: Biologie, Chemie, Mathematik, Sensorindustrie und Materialwissenschaften.

Inhaltsverzeichnis

MEMS TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS
M3: The Third Dimension of Silicon
Trends in MEMS Commercialization
Capacitive Interfaces for MEMS
Packaging of Advanced Micro- and Nanosystems
High Frequency Integrated Micro-electromechanical Resonators and Filters
MEMS in Mass Storage Systems
Scanning Micro- and Nanoprobes for Electrochemical Imaging
NANODEVICE TECHNOLOGIES AND APPLICATIONS
Nanofluidic Simulations
Nanofluidics - Structures and Devices
Carbon Nanotubes and Sensors: a Review
CMOS-based DNA Sensor Arrays

Leseprobe

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Pressestimmen

"Overall, the book gives good insight into very recent technologies, developments, and practical applications in the MEMS field. I would recommend this book as supplementary reading for graduate students, but not as a class text since the book assumes the reader already has fundamental knowledge in this research field. The book is also a very useful source for professionals in related areas of materials science and mechanical and chemical engineering who want to become aware of emerging MEMS technologies." Advanced Materials

"... an excellent book that gives a good overview and discussion of sensors and devices commonly found in the field of MEMS as well as more advanced devices..." MRS Bulletin

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