Warenkorb
€ 0,00 0 Buch dabei,
portofrei
The Physics of Micro/Nano-Fabrication als Buch
PORTO-
FREI

The Physics of Micro/Nano-Fabrication

'Microdevices'. Auflage 1992. Book. Sprache: Englisch.
Buch (gebunden)
In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in re … weiterlesen
Dieses Buch ist auch verfügbar als:
Buch

250,49*

inkl. MwSt.
Portofrei
Lieferbar innerhalb von zwei bis drei Werktagen
The Physics of Micro/Nano-Fabrication als Buch

Produktdetails

Titel: The Physics of Micro/Nano-Fabrication
Autor/en: Ivor Brodie, Julius J. Muray

ISBN: 0306441462
EAN: 9780306441462
'Microdevices'.
Auflage 1992.
Book.
Sprache: Englisch.
Springer US

31. Januar 1993 - gebunden - 672 Seiten

Beschreibung

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

Inhaltsverzeichnis

1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.
Servicehotline
089 - 70 80 99 47

Mo. - Fr. 8.00 - 20.00 Uhr
Sa. 10.00 - 20.00 Uhr
Filialhotline
089 - 30 75 75 75

Mo. - Sa. 9.00 - 20.00 Uhr
Bleiben Sie in Kontakt:
Sicher & bequem bezahlen:
akzeptierte Zahlungsarten: Überweisung, offene Rechnung,
Visa, Master Card, American Express, Paypal
Zustellung durch:
* Alle Preise verstehen sich inkl. der gesetzlichen MwSt. Informationen über den Versand und anfallende Versandkosten finden Sie hier.
** Deutschsprachige eBooks und Bücher dürfen aufgrund der in Deutschland geltenden Buchpreisbindung und/oder Vorgaben von Verlagen nicht rabattiert werden. Soweit von uns deutschsprachige eBooks und Bücher günstiger angezeigt werden, wurde bei diesen kürzlich von den Verlagen der Preis gesenkt oder die Buchpreisbindung wurde für diese Titel inzwischen aufgehoben. Angaben zu Preisnachlässen beziehen sich auf den dargestellten Vergleichspreis.