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The Physics of Micro/Nano-Fabrication als Buch
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The Physics of Micro/Nano-Fabrication

'Microdevices'. Sprache: Englisch.
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In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in re … weiterlesen
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Produktdetails

Titel: The Physics of Micro/Nano-Fabrication
Autor/en: Ivor Brodie, Julius J. Muray

ISBN: 0306441462
EAN: 9780306441462
'Microdevices'.
Sprache: Englisch.
Springer, Berlin

31. Januar 1993 - gebunden - 622 Seiten

Beschreibung

In this revised and expanded edition, the authors provide a comprehensive overview of the tools, technologies, and physical models needed to understand, build, and analyze microdevices. Students, specialists within the field, and researchers in related fields will appreciate their unified presentation and extensive references.

Inhaltsverzeichnis

1. Preliminary Survey.- 2. Particle Beams: Sources, Optics, and Interactions.- 3. Plasmas: Physics and Chemistry.- 4. Layering Technologies.- 5. Pattern Generation.- 6. Microcharacterization.- 7. Limits to Nanofabrication.- Appendixes.- Author Index.
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