Warenkorb
€ 0,00 0 Buch dabei,
portofrei
Plasma Processes for Semiconductor Fabrication als Buch
PORTO-
FREI

Plasma Processes for Semiconductor Fabrication

Revised. Sprache: Englisch.
Buch (kartoniert)
An up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabrication.
Buch

89,99*

inkl. MwSt.
Portofrei
Lieferbar innerhalb von zwei Wochen
Plasma Processes for Semiconductor Fabrication als Buch

Produktdetails

Titel: Plasma Processes for Semiconductor Fabrication
Autor/en: W. N. G. Hitchon

ISBN: 0521018005
EAN: 9780521018005
Revised.
Sprache: Englisch.
Herausgegeben von Haroon Ahmad, Michael Pepper
CAMBRIDGE UNIV PR

Mai 2005 - kartoniert - 232 Seiten

Beschreibung

An up-to-date description of plasma etching and deposition in semiconductor fabrication.

Inhaltsverzeichnis

1. Introduction; 2. Plasma processes and semiconductors; 3. Plasma electromagnetics and circuit models; 4. Plasma models; 5. Plasma chemistry; 6. Transport at long mean free path; 7. Evolution of the trench; 8. Physical description of the plasma; 9. Going further; 10. Glossary.

Mehr aus dieser Reihe

zurück
Plasma Processes for Semiconductor Fabrication
Buch (gebunden)
von W. Nicholas G. H…
Photo-Induced Defects in Semiconductors
Buch (kartoniert)
von David Redfield, …
Photo-Induced Defects in Semiconductors
Buch (gebunden)
von David Redfield, …
The Physics and Applications of Resonant Tunnelling Diodes
Buch (kartoniert)
von Hiroshi Mizuta, …
Doping in III-V Semiconductors
Buch (gebunden)
von E. Fred Schubert…
vor
Servicehotline
089 - 70 80 99 47

Mo. - Fr. 8.00 - 20.00 Uhr
Sa. 10.00 - 20.00 Uhr
Filialhotline
089 - 30 75 75 75

Mo. - Sa. 9.00 - 20.00 Uhr
Bleiben Sie in Kontakt:
Sicher & bequem bezahlen:
akzeptierte Zahlungsarten: Überweisung, offene Rechnung,
Visa, Master Card, American Express, Paypal
Zustellung durch:
* Alle Preise verstehen sich inkl. der gesetzlichen MwSt. Informationen über den Versand und anfallende Versandkosten finden Sie hier.
** Deutschsprachige eBooks und Bücher dürfen aufgrund der in Deutschland geltenden Buchpreisbindung und/oder Vorgaben von Verlagen nicht rabattiert werden. Soweit von uns deutschsprachige eBooks und Bücher günstiger angezeigt werden, wurde bei diesen kürzlich von den Verlagen der Preis gesenkt oder die Buchpreisbindung wurde für diese Titel inzwischen aufgehoben. Angaben zu Preisnachlässen beziehen sich auf den dargestellten Vergleichspreis.