High-sensitivity, Low-noise Multi-axis Capacitive Micro-accelerometers als Buch (gebunden)
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High-sensitivity, Low-noise Multi-axis Capacitive Micro-accelerometers

For inertial sensing applications. Paperback. Sprache: Englisch.
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High performance, micro-g resolution, small size, low cost, low power accelerometers are needed in many applications such as inertial navigation, Unmanned Aerial Vehicles (UAVs), and GPS augmentation. Several sensing methods have been used, includ … weiterlesen
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Produktdetails

Titel: High-sensitivity, Low-noise Multi-axis Capacitive Micro-accelerometers
Autor/en: Junseok Chae

ISBN: 3639184289
EAN: 9783639184280
For inertial sensing applications.
Paperback.
Sprache: Englisch.
VDM Verlag

August 2009 - kartoniert - 180 Seiten

Beschreibung

High performance, micro-g resolution, small size, low cost, low power accelerometers are needed in many applications such as inertial navigation, Unmanned Aerial Vehicles (UAVs), and GPS augmentation. Several sensing methods have been used, including piezoresistive/electric, resonant, tunneling, and capacitive techniques. Capacitive sensing has several advantages in terms of high sensitivity, stable DC-characteristics, low power dissipation, low temperature sensitivity, and low noise floor. This research work demonstrates full functionality of high- sensitivity, low-noise capacitive multi-axis accelerometers. In order to achieve micro-g resolution, two different structures have been utilized: a Silicon-On-Glass (SOG) accelerometer, and an all-silicon accelerometer. A monolithic fabrication technique for Post-CMOS MEMS is also developed. Finally, a 3-axis single-chip accelerometer is presented. The 3-axis accelerometer shows 3pF/g sensitivity and sub-µg/rtHz mechanical noise floor. The 3-axis accelerometer with the readout circuit provides noise floor of 1.6µg/rtHz and 1.1µg/rtHz for in-plane and out-of- plane devices, respectively.

Portrait

Junseok Chae received BS from Korea University, Seoul, Korea, in 1998, and PhD from University of Michigan, Ann Arbor, in 2003. He is at Arizona State University since 2005. His areas of interest are MEMS sensors/actuators and bioMEMS. He has published over 55 journal/conference articles and holds two US patents. He received NSF CAREER award.
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