Zunehmend setzt man in der Halbleiterindustrie gasförmige Ausgangsstoffe ein. Ganz klar: Dies bewirkt, daß die Reinheit der Gase in den Mittelpunkt des Interesses rückt. Anbieter technischer Gase prüfen die Qualität ihrer Produkte zu oft noch mit primitiven, eigentlich längst veralteten Methoden. Dieses Buch will Ihnen einen systematischen, kompakten Überblick über modernste Technologien der Gasanalyse bieten. Sie erhalten das Rüstzeug, Ihre Analysen effektiv und sinnvoll planen und bewerten zu können sowie über eventuell sinnvolle Neuanschaffungen von Geräten zu entscheiden. - Für Analytiker in Halbleiterherstellung, Elektronik und alle, die hochreine Gase herstellen und anbieten!
Inhaltsverzeichnis
Aus dem Inhalt:
The Specialty Gas Industry/
Historical Gas Industry/
Historical Development of Gas Analysis/
The Path less Taken: Fruitless Pursuits in Specialty Gas Analysis/
Contemporary Gas Analysis: Equipment and Methods/
Future Directions in the Specialty Gas Field.
