Inhaltsverzeichnis
Abkürzungen und Formelzeichen. - 1 Einleitung. - 1. 1 Problemstellung. - 1. 2 Zielsetzung und Vorgehensweise. - 2 Stand der Technik. - 2. 1 Begriffe und Definitionen. - 2. 2 Ausgangssituation. - 3 Entwicklungsschwerpunkte. - 3. 1 Ableitung von Untersuchungsinhalten. - 3. 2 Anforderungen an Untersuchungsmethoden. - 4 Auswahl von Untersuchungsmethoden und Entwicklung von Versuchseinrichtungen. - 4. 1 Auswahl der Meßgeräte. - 4. 2 Entwicklung einer kontaminationsfreien, transportablen Laser-Lichtschnitt-Anlage zur Strömungssichtbarmachung. - 4. 3 Tracer-Erzeugung und -Einbringung. - 4. 4 Aufbau eines automatisierten Prüfstandes zur Durchführung von Geschwindigkeitsrastermessungen. - 5 Ermittlung des Einflusses unterschiedlicher Turbulenzintensitäten der Reinraumströmung. - 5. 1 Einflußbereich von Funktionsträgern auf die ungestörte Reinraumströmung. - 5. 2 Partikelausbreitung im Nachlauf von Funktionsträgern. - 6 Untersuchung der Strömung innerhalb und in der Umgebung von Fertigungseinrichtungen. - 6. 1 Durchführung der Untersuchungen. - 6. 2 Strömungsanalyse an Funktionsträgern. - 6. 3 Strömungsuntersuchungen an Baugruppen. - 6. 4 Strömungsausbildung an Fertigungsanlagen. - 7 Richtlinien zur strömungstechnischen Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen. - 7. 1 Vorgehensweise bei der Entwicklung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen. - 7. 2 Richtlinien zur strömungsgerechten Auslegung und Integration von Funktionsträgern in Baugruppen und Fertigungsanlagen. - 7. 3 Richtlinien zur strömungsgerechten Auslegung und Anordnung von Baugruppen in Fertigungsanlagen. - 7. 4 Richtlinien zur strömungsgerechten Auslegung und Aufstellung von Fertigungsanlagen in Reinräumen. - 8 Umsetzung und Erprobung der Richtlinien anhand der Optimierung einer Prototypanlage. - 8. 1 Beschreibung desPrototypen und der bestehenden Anforderungen. - 8. 2 Schwachstellenanalyse. - 8. 3 Modifikationsphase. - 8. 4 Optimierte Fertigungseinrichtung. - 8. 5 Bewertung der Anwendbarkeit der aufgestellten Richtlinien. - 9 Zusammenfassung und Ausblick. - 10 Schrifttum.
