Die elektrostatische Entladung (ESD) bei kleinen Abständen und Spannungen

Elektrostatische Entladungen (ESD) sind ein lange bekanntes und bei Spannungen <2000V auch gut verstandenes Phänomen. Jedoch sind Entladungen bei Spannungen <2000V selten spürbar und damit ohne spezielle Meßtechnik nicht nachweisbar. Die steigende Integrationsdichte und sinkende Abmessungen machen integrierte Bauteile jedoch selbst für geringe Entladungsenergien anfällig. Infolgedessen richtet sich die Aufmerksamkeit der Anwender zunehmend auch auf kleinere Spannungsebenen. In dieser Arbeit werden erstmalig zusammenfassend Entladungsmechanismen und Parameterabhängigkeiten für ESD bei Spannungen <2000V und Elektrodenabständen <300µm präsentiert sowie Anwendungen, wie z. B. ESD-Schutzfunkenstrecken mit kleinen Elektrodenabständen als auch die Modellierung von ESD vorgestellt und diskutiert. Das Buch richtet sich sowohl an Entwickler elektronischer Schaltungen und Bauelemente als auch an Interessierte aus artverwandten Fachbereichen.