Vakuumbeschichtung

Behandelt werden Messungen an dünnen Schichten während und nach der Beschichtung, Schichtdickenmeßverfahren, Verfahren der Dünnschichtanalyse sowie die Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen.

1 Automatisierung von Vakuumbeschichtungsanlagen. - 1. 1 Vorbemerkungen. - 1. 2 Steuerungssysteme. - 1. 3 Materialfluß. - 1. 4 Automatisierung von Teilsystemen. - 1. 5 Beispiele für die Automatisierung von Beschichtungsprozessen. - 2 Messungen an Dünnen Schichten während des Beschichtungsprozesses. - 2. 1 Bestimmung der Schichtdicke durch Widerstandsmessung. - 2. 2 Ratenmessung durch Teilchen-Ionisierung und -Anregung. - 2. 3 Schichtdicken und Aufdampfratemessung mit Schwingquarz. - 2. 4 Optische Meßverfahren. - 2. 5 Schichtdickenbestimmung durch Wägung im Vakuum. - 2. 6 Bestimmung der Schichtdicke und der Schichtzusammensetzung durch Röntgenemission und Röntgenfluoreszenz. - 2. 7 Atomemissionsspektroskopie. - 3 Messungen an dünnen Schichten nach beendetem Beschichtungsprozeß. - 3. 1 Messung der thermischen Leitfähigkeit. - 3. 2 Elektrische Leitfähigkeit. - 3. 3 Magnetische Eigenschaften. - 3. 4 Messung von Farbeigenschaften. - 3. 5 Optische Eigenschaften. - 3. 6 Permeation. - 3. 7 Mechanische Spannungen in dünnen Schichten. - 3. 8 Härtemessung. - 3. 9 Haftfestigkeit. - 3. 10 Rauheit von Festkörperoberflächen. - 3. 11 Mikrogeometrische Eigenschaften. - 3. 12 Schichtdickenmessung. - 3. 13 Bestimmung von Pinholedichten. - 4 Moderne Verfahren der Oberflächen-und Dünnschichtanalyse. - 4. 1 Physikalische Grundlagen oberflächenanalytischer Verfahren. - 4. 2 Ortsaufgelöste Analysen mit AES, XPS, SIMS und SNMS. - 4. 3 Sputter-Tiefenprofilanalysen. - 4. 4 Rastertunnelmikroskopie. - 4. 5 Mikrosonde (Elektronenstrahlmikrosonde). - 4. 6 Anwendungsbeispiele zur Oberflächen-und Dünnschichtanalytik. - Literatur. - Sachwortverzeichnis. - Autorenverzeichiiis.