Fundamentals of Nanoscale Film Analysis als Taschenbuch
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Fundamentals of Nanoscale Film Analysis

Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2007. Paperback. Sprache: Englisch.
Taschenbuch
From materials science to integrated circuit development, technology is moving from the microscale toward the nanoscale. As technology grows tinier, there is new emphasis on understanding the effects of surfaces and near-surfaces on the properties of … weiterlesen
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Fundamentals of Nanoscale Film Analysis als Taschenbuch

Produktdetails

Titel: Fundamentals of Nanoscale Film Analysis
Autor/en: Terry L. Alford, L.C. Feldman, James W. Mayer

ISBN: 1441939806
EAN: 9781441939807
Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2007.
Paperback.
Sprache: Englisch.
Springer US

29. Oktober 2010 - kartoniert - 352 Seiten

Beschreibung

From materials science to integrated circuit development, much of modern technology is moving from the microscale toward the nanoscale. This book focuses on the fundamental physics underlying innovative techniques for analyzing surfaces and near-surfaces. New analytical techniques have emerged to meet these technological requirements, all based on a few processes that govern the interactions of particles and radiation with matter. This book addresses the fundamentals and application of these processes, from thin films to field effect transistors.

Inhaltsverzeichnis

Concepts, Units, and the Bohr Atom.- Atomic Collisions and Backscattering Spectrometry.- Energy Loss of Light Ions and Backscattering Depth Profiles.- Sputter Depth Profiles and Secondary Ion Mass Spectrometry.- Ion Channeling.- Electron -Electron Interactions and Depth Sensitivity of Electron Spectroscopies.- X-ray Diffraction.- Electron Diffraction.- Photon Absorption in Solids and EXAFS.- X-ray Photoelectron Spectroscopy.- Radiative Transitions and Electron Microprobe.- Nonradiative Transitions and Auger Electron Spectroscopy.- Nuclear Techniques: Activation Analysis and Prompt Radiation Analysis.- Scanning Probe Microscopy.-Appendices: Km for 4He as Projectile and integer Target Mass.- Rutherford Scattering Cross Section of Elements for 1 MeV 'He.- 4He Stopping Cross Sections.- Electron Configurations and Ionization Potentials of Atoms.- Electron Binding Energies (eV).- X-ray Wavelengths.- Mass Absorption Coefficients and Densities.- KLL Auger Energies (eV).- Fluorescence Yields for K, L, and M Shells.
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