Universität Stuttgart für Stu denten der Fakultät Konstruktions-und Fertigungstechnik halte.
Inhaltsverzeichnis
1 Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik. - 2 Werkstoffe der Mikromechanik. - 3 Reinraumtechnik. - 4 Technologie der Mikromechanik. - 5 Meßmethoden. - 6 Anwendungen der Mikromechanik. - 7 Mikrosystemtechnik.
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