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Universität Stuttgart für Stu denten der Fakultät Konstruktions-und Fertigungstechnik halte.
Inhaltsverzeichnis
1 Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik. - 2 Werkstoffe der Mikromechanik. - 3 Reinraumtechnik. - 4 Technologie der Mikromechanik. - 5 Meßmethoden. - 6 Anwendungen der Mikromechanik. - 7 Mikrosystemtechnik.
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Produktdetails
Erscheinungsdatum
01. November 1990
Sprache
deutsch
Auflage
1991
Seitenanzahl
244
Reihe
Angewandte Physik
Autor/Autorin
Stephanus Büttgenbach
Illustrationen
240 S. 44 Abb.
Verlag/Hersteller
Produktart
kartoniert
Abbildungen
240 S. 44 Abb.
Gewicht
313 g
Größe (L/B/H)
216/140/14 mm
ISBN
9783519030713
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