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Inhaltsverzeichnis
1 Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- 2 Werkstoffe der Mikromechanik.- 3 Reinraumtechnik.- 4 Technologie der Mikromechanik.- 5 Meßmethoden.- 6 Anwendungen der Mikromechanik.- 7 Mikrosystemtechnik.
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Produktdetails
Erscheinungsdatum
17. April 2013
Sprache
deutsch
Auflage
1991
Seitenanzahl
240
Dateigröße
15,87 MB
Reihe
Angewandte Physik
Autor/Autorin
Stephanus Büttgenbach
Verlag/Hersteller
Originalsprache
deutsch
Kopierschutz
mit Wasserzeichen versehen
Produktart
EBOOK
Dateiformat
PDF
ISBN
9783322921352
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