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Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik.- Werkstoffe der Mikromechanik.- Reinraumtechnik.- Technologie der Mikromechanik.- Meßmethoden.- Anwendungen der Mikromechanik.- Mikrosystemtechnik.
Inhaltsverzeichnis
Bedeutung und Inhalte der Mikromechanik. - Werkstoffe der Mikromechanik. - Reinraumtechnik. - Technologie der Mikromechanik. - Meßmethoden. - Anwendungen der Mikromechanik. - Mikrosystemtechnik.
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Produktdetails
Erscheinungsdatum
01. Januar 1997
Sprache
deutsch
Auflage
2. Auflage 1991
Seitenanzahl
244
Reihe
Angewandte Physik
Autor/Autorin
Stephanus Büttgenbach
Co-Autor/Co-Autorin
Stephanus Büttgenbach
Illustrationen
240 S.
Verlag/Hersteller
Produktart
kartoniert
Abbildungen
240 S.
Gewicht
313 g
Größe (L/B/H)
216/140/14 mm
ISBN
9783519130710
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